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北京华卓精科科技股份有限公司申请在科创板IPO，计划募资7.35亿元，用于半导体装备关键零部件研发制造、超精密测控产品长三角创新与研发中心、集成电路装备与零部件产品创新项目、光刻机超精密位移测量及平面光栅测量技术研发4个项目。
这是华卓精科的第二次上会，该公司曾于7月29日第一次上会，但被科创板上市委暂缓审议，在该次上会时上市委要求公司说明光刻机双工件台业务产业化前景；而在第二次上会时，华卓精科在最终在表述核心技术时称，公司以超精密机电系统设计技术、超精密位移测量技术及超精密控制技术、核心算法为基础，开发了精密运动系统、晶圆级键合设备、激光退火设备等多种衍生产品，并未提及光刻机。
招股书显示，华卓精密的实际控制人为朱煜，直接持有该公司35.72%的股份，并通过艾西科技和艾西博锐间接持股5.45%。朱煜是清华大学长聘教授，公司不少核心技术人员也是来自清华，有意思的是，“清华人”朱煜、张鸣、杨开明、王磊杰已取得清华大学兼职批复，作为兼职人员在华卓精科处工作。年，清华大学成功研发光刻机双工件台掩模台系统α样机，朱煜是该研发项目的负责人。基于清华大学的理论研究成果，华卓精科继续进行研发生产。
年4月，华卓精科成功向上海微电子交付光刻机双工件台，由此也成为国内首家自主研发并实现光刻机双工件台商业化生产的企业。但工件台属于光刻机核心零部件之一，光刻机零部件不等于光刻机，从营业收入上看，目前，华卓精科来自光刻机双工件台的收入仍微乎其微。
研发方面，截至年6月30日，华卓精密拥有项专利以及1项专利独占使用权。公司拥有的项专利包括发明专利项、实用新型43项、外观设计2项、美国专利5项。
其中，仅有35项为华卓精科单独申请，公司与清华大学共同所有项专利技术以及1项独占实施许可专利。对于共同拥有的项专利，公司与清华大学通过协议约定了公司具有该部分专利技术的独占实施权，清华大学具有收益分配的权利。由此可见，华卓精科在专利技术方面对清华大学存在严重依赖。
不仅如此，由于朱煜以及华卓精科多位核心技术人员仍在清华大学任职，并代表清华大学申请专利，华卓精科的技术独立性也存在不确定。公开信息显示，年8月，华卓精科核心技术团队成员杨开明、成荣、朱煜、张鸣等作为发明人为清华大学申请专利--“基于光刻机双工作台运动系统的垂向保护方法及装置”。该技术与华卓精科核心技术密切相关。
华卓精科如何厘清公司与清华大学在人员、技术、设备等一系列方面的交叉、如何避免可能的利益输送值得