记者
陈祺欣1
10月27日是合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”）在科创板首发上会的日子。芯碁微装自称是国内少数在光刻技术领域里拥有关键核心技术，并能积极参与全球竞争的PCB直接成像设备及泛半导体直写光刻设备供应商，界面新闻记者注意到，关于芯碁微装核心专利问题和内控管理等系列问题仍存在争议，上交所两轮问询函中上述问题亦被重点
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陈祺欣1
10月27日是合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”）在科创板首发上会的日子。芯碁微装自称是国内少数在光刻技术领域里拥有关键核心技术，并能积极参与全球竞争的PCB直接成像设备及泛半导体直写光刻设备供应商，界面新闻记者注意到，关于芯碁微装核心专利问题和内控管理等系列问题仍存在争议，上交所两轮问询函中上述问题亦被重点