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华进半导体
华进半导体一发明专利喜获年“第十三届无锡市专利奖” 奖
第十三届无锡市专利奖颁奖仪式在新吴区市场监管局二楼会议室召开，华进半导体凭借“一种采用CMP对以聚合物为介质层的大马士革工艺中铜沉积后的表面进行平坦化处理的方法”专利获评 奖。这是华进半导体继年获评“第二十一届中国专利奖银奖”、“第十一届江苏省专利项目奖 奖”之后荣获的又一专利奖项。
大马士革工艺被广泛应用于半导体设计制造中的铜线互连。常见的大马士革工艺流程一般为在硅基板表面生成介质层，然后刻蚀深孔，生成阻挡层,利用PVD的方法在深孔里沉积铜。而应用于TSV转接板中的大马士革工艺稍有不同，先用PVD生成铜种子层，再通过铜电镀工艺填满刻蚀孔。大马士革工艺 都需要应用CMP去除表面的铜露出介质层完成铜导线的制作。
目前常见的介质层都是通过CVD生成的氧化物层，其工艺技术相对成熟，表面均匀性好，内部空谷易于控制，但成本高。而以聚合物为介质层的多重大马士革工艺由于聚合物表面平整度较差，因此只能应用于大尺寸线宽的多重布线技术(RDL)，无法实现小线宽高密度集成的产品要求。
此次，华进半导体参评专利所提出的一种采用CMP对以聚合物为介质层的大马士革工艺中铜沉积后的表面进行平坦化处理的方法，发明的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种采用CMP对以聚合物为介质层的大马士革工艺中铜沉积后的表面进行平坦化处理的方法。
来源：华进半导体（侵删请联系后台）
中科闻歌
“天湖”NLP组件通过信通院“可信AI”权威认证，性能获“ ”评价
近日，在中国信息通信研究院年组织的“可信AI”评测中，中科闻歌“天湖”人工智能中台ZetaHub-NLP服务平台获得了性能 型评价，在业内占据 水平。
可信AI测评工作由中国信通院云计算与大数据研究所自年正式启动。该评测通过研究制定测评标准体系，建设测试数据集和软硬件环境，目前已形成专用芯片、智能语音、自然语言处理（NLP）、机器人流程自动化等典型产品和服务评测能力，在近年来已成为人工智能产业发展的风向标。
此次评测，参考标准《自然语言处理技术及产品评估方法第1部分：基础服务平台》，测试范围包括NLP服务平台的基础技术、应用技术、服务能力共3个维度、20余项指标。经过功能验证、性能测试、专家评审等多个环节，“天湖”人工智能中台ZetaHub-NLP服务平台凭借其产品技术 性，获得行业权威认可。
“天湖”人工智能中台ZetaHub-NLP服务平台支持从数据标注、模型训练到模型部署一站式服务，提供中文分词、句法分析、情感分析、文本分类、实体识别、词向量、多语种翻译、文本纠错等十余项基础和高级NLP分析能力。
《“十四五”国家信息化规划》提出培育先进安全的数字产业体系，建立健全规范有序的数字化发展治理体系。未来，中科闻歌将继续深耕AI与大数据技术，持续践行AI应用治理与发展的可信指引，积极探索前沿技术及应用研究，与业界各方通力合作，共同建立行业健康、有序、完整的生态，助推数字经济和数字社会健康可持续发展。
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